معدات إنتاج الخلايا:
خلايا CVD ،خلايا PECVD ،خلايا PVD ،خلية LPCVD
معدات إنتاج الألواح ذات أغشية رقيقة:
أغشية رقيقة PVD ،طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام ترسيب البخار الكيميائي (CVD) ،طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام ترسيب البخار الكيميائي مع البلازما (PECVD) ،طلاء الأغشية باستخدام ترسيب البخار الكيميائي عند الضغط المنخفض (LPCVD)