أنواع المعدات
معدات إنتاج الخلايا:
جهاز تنميش بالبلازما ،خلايا PECVD
معدات إنتاج الألواح ذات أغشية رقيقة:
نظام فحص بصري للأغشية الرقيقة ،محلل خصائص مواد الأغشية الرقيقة ،جهاز قياس سماكة الأغشية الرقيقة ،طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام ترسيب البخار الكيميائي مع البلازما (PECVD) ،آلة تنميش الأغشية الرقيقة بالبلازما