أنواع المعدات
معدات إنتاج الخلايا:
جهاز تنميش بالبلازما ،تبخير الخلية ،طلاء الخلايا باستخدام أيونات المعادن ،خلايا PECVD ،خلية LPCVD
معدات إنتاج الألواح ذات أغشية رقيقة:
تبخر الأغشية الرقيقة ،طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام الأيونات ،طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام ترسيب البخار الكيميائي مع البلازما (PECVD) ،طلاء الأغشية باستخدام ترسيب البخار الكيميائي عند الضغط المنخفض (LPCVD) ،آلة تنميش الأغشية الرقيقة بالبلازما