معدات إنتاج الخلايا:
فرن الانتشار ،مضخة فراغية للتحكم بالانتشار ،خلايا PECVD ،فرن التجفيف ،خلية LPCVD
معدات إنتاج الألواح ذات أغشية رقيقة:
طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام ترسيب البخار الكيميائي مع البلازما (PECVD) ،طلاء الأغشية باستخدام ترسيب البخار الكيميائي عند الضغط المنخفض (LPCVD)