معدات إنتاج الخلايا:
خلايا CVD ،خلايا PECVD ،خلايا MOCVD
معدات إنتاج الألواح ذات أغشية رقيقة:
أغشية رقيقة PVD ،طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام ترسيب البخار الكيميائي مع البلازما (PECVD) ،طلاء الأغشية الرقيقة باستخدام ترسيب البخار الكيميائية للمعادن العضوية (MOCVD)